Document d'archives : Code SIRET : 40309221600023, Raison sociale du bénéficiaire : CAMECA, objet de la subvention : Developpement et optimisation de...

Institution de conservation :

Archives nationales

Title:

Code SIRET : 40309221600023, Raison sociale du bénéficiaire : CAMECA, objet de la subvention : Developpement et optimisation de la spectrometrie de masse des ion ssecondaires a haute resolution en profondeur. Application a la caracterisation des couches nanometriques enterrees ou superficielles pour le CMOS ultime, montant : 17 059,96

Identifiant de l'unité documentaire :

Décision n : 1999 S 388

Type de document :